ImecとASML、半導体研究での突破口を発表

ベルギーの研究機関imecは、世界をリードする半導体研究施設の一つであり、コンピュータチップの製造において重要な進展を報告しました。オランダ企業ASMLとの協力により、ASMLの最新の3億5000万ユーロのチップ印刷機を使用して、imecは顕著な成果を達成しました。 新しい「High NA」ツールのおかげで、imecは単一のパスで、現在商業生産で最高のものと同じか、それよりも小さな回路を印刷することができました。これは、主要な半導体メーカーが今後数年間でより小さく、より速いチップの世代を製造できるようになることを意味します。 imecのCEO、Luc Van den Hove氏は、High NAが「論理およびメモリ技術の継続的な微細化に極めて重要である」と述べました。テストはまた、チップ製造プロセスに必要な多くの化学物質やツールが商業利用の準備が整っていることを示しました。 ASMLは、コンピュータチップ製造の主要装置メーカーとして、回路を生成するために光線を使用する巨大な機械であるリソグラフィーシステムの市場を支配しています。High NAツールの特徴である、より少ないステップでより小さな特徴を印刷する能力は、チップ製造業者にとってのコスト削減だけでなく、その高価格を正当化するものです。 ロイターが月曜日に報じたところによれば、インテルは最初の2つのHigh NAツールを注文しており、NvidiaやAppleの主要な受託製造業者であるTSMCが今年後半に3つ目のツールを受け取ると予想されています。インテルのリソグラフィーディレクターであるMark Philips氏は、開発ラインを支えるのに必要なウェーハおよび実験の所要量を処理するため、2つ目のツールが必要であるとメールで強調しました。 その他のチップメーカーで、すでにHigh NAツールを注文しているのは、サムスン電子、メモリのスペシャリストであるSK HynixおよびMicronが含まれます。