Imec 和 ASML 展示半导体研究的突破

比利时研究机构imec是全球半导体研究的领先机构之一，该机构报告称在电脑芯片的生产方面取得了重大进展。通过与荷兰公司ASML合作，imec使用ASML最新的价值3.5亿欧元的芯片印刷机取得了显著成果。 新的“High NA”工具使imec能够印刷出和目前商业生产中最好的电路同样小甚至更小的电路，而且只需一次曝光。这意味着主要的半导体制造商在未来几年内将能够生产出更小、更快的芯片。 imec的首席执行官Luc Van den Hove表示，High NA“对于逻辑和存储技术的持续尺度缩减极其重要”。测试还表明，许多用于芯片制造过程的其他化学品和工具也已经准备好投入商业使用。 ASML作为电脑芯片制造的主要设备供应商，主导了光刻系统的市场。这些庞大机器使用光束来生成电路。High NA工具在更少步骤中印刷出更小特征的能力，不仅为芯片生产商提供了成本节约，还证明了该工具高昂价格的合理性。 据路透社周一报道，英特尔已订购了前两台High NA工具，而预计作为Nvidia和苹果的主要代工厂商，台积电将在今年晚些时候获得第三台。英特尔的光刻总监Mark Philips通过电子邮件强调说，第二台工具是必要的，以应对开发线所需的晶圆和实验量。 其他已经订购High NA工具的芯片制造商还包括三星电子以及存储器专家SK海力士和美光。